Anfang Oktober habe ich die Gaseous Electronics Conference, oder kurz GEC, in Paris besucht – eine riesige Konferenz mit mindestens drei, meistens sogar vier parallelen Vorträgen.

Es geht dort um Tieftemperaturplasmaphysik, also Plasmen, die durch elektrische Felder erzeugt werden, so wie zum Beispiel in Neonröhren oder auch bei den Experimenten, die wir selbst durchführen. Es gab zwei Sitzungen über unsere staubigen Plasmen, bei denen es besonders viele Vorträge über Teilchenwachstum gab.

 Lustig fand ich die Vorträge über Plasmen, die in Flüssigkeiten erzeugt werden. Dabei wird ein starkes elektrisches Feld an eine Flüssigkeit angelegt, die natürlicherweise Gasblasen enthält. In diesen Gasblasen wird ein Plasma gezündet, das anfängt zu leuchten. Dabei entsteht ultraviolettes Licht, das wiederum die nächste Blase zündet, und eine Kettenreaktion entsteht. 

Beeindruckt hat mich auch die Anzahl der Vorträge über Plasmamedizin. Immer mehr Forschergruppen weltweit beschäftigen sich mit diesem Thema. Da sollen Zähne gebleicht, Wunden geheilt und sogar Krebs behandelt werden. Bei Versuchen mit Zellen in Petrischalen konnte eine Gruppe sogar anscheinend eine Selektivität für Krebszellen herstellen, so dass gesunde Zellen nicht beeinflusst, die von Krebs befallenen Zellen aber geschädigt werden.

Auch ist die Bestrahlung mit Plasma nicht mehr auf die Hautoberfläche beschränkt, mit Hilfe von Glasfaserkabeln kann das ionisierte Gas weit in den Körper hinein gebracht werden, so ähnlich wie ein Endoskop.

Auch Michael Lieberman, einer der bekanntesten Forscher aus dem Bereich der Tieftemperaturplasmaphysik, hat der Plasmamedizin in seinem Vortrag eine beeindruckende Zukunft vorhergesagt. Dieser Vortrag war überhaupt eins der Highlights bei der Konferenz für mich. Es ging um die Vergangenheit und Zukunft der Plasmabehandlung für Nanoelektronik.

Am meisten beeindruckt hat mich von dem Vortrag die Geschichte des anisotropen Plasmaätzens. N. Hosogawa hat 1974 beim 6. Internationalen Vakuumkongress seine bahnbrechende Arbeit dazu vorgestellt. Zu dem Zeitpunkt wurde isotropes Plasmaätzen verwendet: Ein molekulares Gas wird mithilfe eines Plasmas dissoziiert, so dass Bestandteile entstehen, die mit dem Material reagieren, das behandelt werden soll. Die Reaktionsprodukte werden dann entfernt, und so wird ein Material weggeätzt.

Hosogawa wollte eigentlich nur den Ätzvorgang beschleunigen, indem er das Material mit hochenergetischen Ionen bombardiert hat. Viele Zuhörer auf der Konferenz haben dann aber die Anwendung zum Übertragen von Mustern auf das Substrat erkannt. Im folgenden Jahr wurden ein Dutzend Patente zu "reaktivem Ionenätzen" eingereicht, und diese Technik hat sich schnell ausgebreitet.

Auch der Rest des Vortrags war wirklich gut. Es ging unter anderem um die Zukunft der Nanoelektronik, ein spannendes Thema. Er kann übrigens auf Michael Liebermans Homepage heruntergeladen werden.